作為中芯國(guó)際的首席技術(shù)執(zhí)行，官李偉光技術(shù)水平還可以，他兩眼放光盯著眼前的龐然大物，這是多么美妙的工業(yè)之花。
李偉光心想，希望這臺(tái)光刻機(jī)是秀外慧中的美人，而不是金玉其外。
高致遠(yuǎn)指著光刻機(jī)介紹道：“大家眼前的這臺(tái)光刻機(jī)，就是我們神光儀器研發(fā)神光1X射線光刻機(jī)，具體技術(shù)指標(biāo)，想必大家已經(jīng)有所了解了。”
李偉光、趙軍等人當(dāng)然了解，工信部的公告附件上面，就有神光1X射線光刻機(jī)的技術(shù)指標(biāo)，他們半路上已經(jīng)研究過(guò)。
“高總，貴方的光刻機(jī)精度真的可以達(dá)到10～7納米?”李偉光急促的問(wèn)道。
“我知道大家非常懷疑，一旁有八寸硅片，中芯國(guó)際應(yīng)該有帶技術(shù)員過(guò)來(lái)吧?”
李偉光點(diǎn)了點(diǎn)頭。
高致遠(yuǎn)指著一側(cè)的庫(kù)房繼續(xù)說(shuō)道：“你們可以派人拿著硅片，和我們的員工一起進(jìn)行光刻測(cè)試。”
“那我們就恭敬不如從命了。”李偉光轉(zhuǎn)過(guò)頭向中芯國(guó)際的人吩咐道：“張工、李工，麻煩你們了。”
倆中年技術(shù)員麻利動(dòng)手，他們借助工具小心翼翼的將硅片取出。
這些硅片不僅僅價(jià)格昂貴，而且非常脆弱，別說(shuō)摔地上了，哪怕是空氣最好也別直接接觸，因?yàn)檎慈旧匣覊m會(huì)非常麻煩。
將兩片硅片送入專(zhuān)門(mén)的清潔設(shè)備之中，然后涂抹光刻膠，將光刻膠攤平到一定的厚度，晾干硅片表面的光刻膠。
其中的工序非常繁雜，也不能有一絲失誤，這不僅僅考驗(yàn)機(jī)器設(shè)備，也考驗(yàn)技術(shù)員的水平。
要是其中一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)失誤，不僅白忙活了半天，硅片、光刻膠、清潔液這些耗材就白白浪費(fèi)了，這些都是真金白銀。
怪不得說(shuō)科研就是在燒錢(qián)。
一個(gè)多小時(shí)過(guò)去，終于到了硅片光刻的步驟，一塊八寸硅片被光刻機(jī)的自動(dòng)化設(shè)備送入其中。
為了避免影響光刻效果，李工通過(guò)一個(gè)小窗口的透鏡觀察了硅片一會(huì)，便將小窗口關(guān)閉，讓光刻室形成一個(gè)暗箱。
張工則在電腦上面挑選著一些掩模模板，隨便挑選了其中一個(gè)模板，輸入尺寸調(diào)整。
因?yàn)椴煌男酒娐穲D，需要的面積不一樣，因此一塊硅片可以刻出多少顆芯片，是要根據(jù)實(shí)際情況來(lái)調(diào)整的。
工作人員們都是用簡(jiǎn)單的手勢(shì)來(lái)交流著，在這種高精密的設(shè)備周?chē)呐率钦f(shuō)話大聲一點(diǎn)，都可能影響到光刻結(jié)果。
光刻開(kāi)始。
大約16秒左右，被光刻完成的硅片便出現(xiàn)另一側(cè)的出口。
然后又快速加工了第二塊硅片，同樣是16秒左右出來(lái)。
在檢測(cè)室外面的趙軍、李偉光、方龍等人，都緊緊盯著那兩塊光刻完成的硅片。
張工和李工用特制的設(shè)備，一人負(fù)責(zé)一塊硅片，轉(zhuǎn)移到隔壁的電鏡檢測(cè)室里面。
電子顯微鏡下，硅片上的電路圖紋路和模板一模一樣，唯一區(qū)別就是尺寸。
“竟然真的可以做到7納米，不可思議。”李工看著電子顯微鏡驚嘆道。
“不僅僅如此，X射線光刻出來(lái)的紋路非常整齊細(xì)膩，真是一個(gè)杰作。”張工補(bǔ)充道。
倆人對(duì)于兩塊硅片進(jìn)行了非常全面的檢測(cè)，最后生成兩份檢測(cè)報(bào)告。
在外面干著急的李偉光，看到倆人走出來(lái)，迫不及待的上前問(wèn)道：“結(jié)果如何?”
中芯國(guó)際和海思眾人緊張又期待的看著倆人，希望是好消息，而不是壞消息。
“李總，神光1X射線光刻機(jī)的精度確實(shí)達(dá)到了10～7納米，甚至比阿斯麥的極紫外光效果更加好。”張工解釋道。
呼！眾人長(zhǎng)出一口氣。
李工將兩份檢測(cè)報(bào)告遞給李偉光：“這是具體檢測(cè)報(bào)告。”
中芯國(guó)際的眾人連忙傳閱起來(lái)。
看完詳細(xì)的檢測(cè)報(bào)告之后，趙軍和李偉光呼吸都重了起來(lái)，這個(gè)神光1X射線光刻機(jī)比阿斯麥的頂級(jí)光刻機(jī)還更強(qiáng)一絲。
至少目前阿斯麥公司的頂級(jí)光刻機(jī)，在面對(duì)7納米芯片時(shí)顯得有些力不從心，而神光1X射線光刻機(jī)卻游刃有余。
如果他們知道黃明哲故意限制精度，就會(huì)明白為什么會(huì)游刃有余了。
“高總，我以一個(gè)華國(guó)芯片人的身份，向你們致敬。”李偉光激動(dòng)不已的說(shuō)道。
作為一個(gè)華國(guó)芯片人，他們活得太憋屈了，國(guó)內(nèi)外的種種壓力，幾乎讓壓得他們喘不過(guò)氣了。
而神光1X射線光刻機(jī)的出現(xiàn)，讓李偉光等人感到了揚(yáng)眉吐氣，終于不需要忍受那些鳥(niǎo)人的冷嘲熱諷。
“我們不敢居功，其實(shí)這臺(tái)光刻機(jī)可以誕生，社長(zhǎng)要占90%的功勞。”高致遠(yuǎn)說(shuō)得一點(diǎn)都不夸張。
X射線光刻機(jī)的方向是黃明哲選擇的，兩個(gè)關(guān)鍵性材料來(lái)源于光敏材料規(guī)律模型，全套軟件系統(tǒng)和黃明哲息息相關(guān)。
另外還有思維社掌握的仿真空間技術(shù)、有限元逆分析技術(shù)，促進(jìn)了神光儀器公司在整合和改進(jìn)方面的實(shí)力。
盡管中芯國(guó)際和海思眾人都感到非常意外，但是在場(chǎng)的神光儀器研究員或者員工，都一臉認(rèn)同高致遠(yuǎn)的話，這種事情趙軍他們沒(méi)有打破沙鍋問(wèn)到底的想法。
“高總，不知神光1X射線光刻機(jī)的售價(jià)是多少?”趙軍連忙問(wèn)道。
“15億一臺(tái)。”
咕嚕！趙軍盡管已經(jīng)有預(yù)料到神光1X射線光刻機(jī)的價(jià)格會(huì)非常高，沒(méi)有想到竟然高到15億。
當(dāng)然價(jià)格高也是情有可原，神光儀器的研發(fā)經(jīng)費(fèi)總是要賺回來(lái)的，做生意就沒(méi)有人想虧本。
不過(guò)隨即他便放松下來(lái)，因?yàn)橘?gòu)買(mǎi)神光1X射線光刻機(jī)是有補(bǔ)貼的，國(guó)家給的補(bǔ)貼高達(dá)40%。
也就是說(shuō)，神光1X射線光刻機(jī)15億一臺(tái)，補(bǔ)貼之后是9億一臺(tái)。
不過(guò)這個(gè)補(bǔ)貼政策暫時(shí)只有兩年，而且必須是華國(guó)企業(yè)才可以拿到，另外每一臺(tái)光刻機(jī)都會(huì)被登記在案，不得隨意轉(zhuǎn)讓。
另外補(bǔ)貼不是直接給錢(qián)，而是企業(yè)在向神光儀器全額購(gòu)買(mǎi)之后，國(guó)家會(huì)以減免稅收的方式，抵消掉這一部分的補(bǔ)貼。
趙軍和李偉光小聲的討論了一會(huì)，最后和神光儀器達(dá)成協(xié)議，中芯國(guó)際向神光儀器預(yù)訂了10臺(tái)神光1X射線光刻機(jī)，合同分兩年執(zhí)行。
這個(gè)合同高達(dá)150億，而今年的5臺(tái)，就是75億訂單，神光儀器的要求是50%的定金。
而且訂單一下，無(wú)論購(gòu)買(mǎi)企業(yè)要不要光刻機(jī)，神光儀器概不退款，如果無(wú)故取消訂單，不僅僅定金不退，還會(huì)被納入思維社的黑名單。
作為一個(gè)上市公司，中芯國(guó)際立馬公布了向神光儀器預(yù)訂了10臺(tái)神光1X射線光刻機(jī)的消息。
這個(gè)巨額訂單不僅僅砸暈了全世界，更是刺激得中芯國(guó)際的股票暴漲，當(dāng)天股價(jià)飆升16%。
?>